积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年(nián)4月28日晚间，微导(dǎo)纳米公布2023年报及2024年一(yī)季报。2023年全年，公司实现营业收入16.80亿元，同比增(zēng)长145.39%。实现归母净利润2.70亿元(yuán)，同比增长399.33%。扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一季度，微导纳(nà)米营业收入达1.71亿元，同比增长(zhǎng)125.27%；归母(mǔ)净利润达357.34万元，相比去年同(tóng)期，实现扭亏为盈，公司业务呈现高速增长态势。

报告期内，得益于(yú)微导纳米在(zài)薄膜技术领域的不断(duàn)突破(pò)，以
及公司(sī)在(zài)全球化发展和(hé)多(duō)元化布局上的(de)努力，微导纳米在实现产品工艺优化升级的同时，客户群体覆盖度(dù)也在进一步扩大，业务呈(chéng)现(xiàn)良好发展态势、市场(chǎng)竞争力(lì)、运营效率持续提升，有力(lì)推动了订单规模和经营(yíng)业绩的持续增长。

坚持ALD+CVD等镀膜平台化战略 ，赋能多元化产业发(fā)展

微导纳米是一家面向(xiàng)全球的半导体、泛半导体(tǐ)高端微纳装备制造商。公(gōng)司形(xíng)成了以原
子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真(zhēn)空薄膜技(jì)术梯次发展的技术平台体(tǐ)系，专注(zhù)于先(xiān)进微米(mǐ)级(jí)、纳米级薄膜设备(bèi)的研发、生产与销售(shòu)，向下游客户(hù)提(tí)供尖端薄膜设备、配 套产品及服(fú)务(wù)。

长期以来，微导纳米坚(jiān)持以ALD为核(hé)心，CVD等(děng)多种真空薄膜技术梯次发展技术平台体系，凭借在(zài)新兴应用领(lǐng)域的前瞻性(xìng)战略布局(jú)，微导纳米开(kāi)发的薄膜沉积技术及设备，目前已广泛运用于半导体、光伏及新兴应(yīng)用领(lǐng)域，并(bìng)取得亮眼(yǎn)表现。

在半导体领域，微导纳米(mǐ)构建了以ALD为核心，CVD等多种真空 薄膜技术梯(tī)次发展技术平台(tái)体系，公司半导体集成电路产品涵盖逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细(xì)分应(yīng)用领域。在光伏领域，公司ALD设备的(de)市场占有率保(bǎo)持领 先，实现了对TOPCon产(chǎn)线真空类(lèi)设备的全(quán)覆盖，并在XBC、HJT、钙钛矿、钙钛矿叠(dié)层等电池技术(shù)领(lǐng)域均有产品储 备、布局和出货。在新兴应用领域，2023年，微导纳米已在光学、柔性电子(zi)、车规级芯片等几个极具市场潜力的薄(báo)膜沉(chén)积技术应用(yòng)前(qián)沿领域开始获得客户订单。

得益(yì)于ALD+CVD等镀膜平台化战略，微 导
纳米2023年成绩亮(liàng)眼。业绩报告(gào)显示(shì)，2023年，公司新(xīn)增订(dìng)单总(zǒng)额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍(bèi)。截止至2024年3月(yuè)31日，公司在手订单(dān)81.91亿元(yuán)（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿(yì)元，半(bàn)导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴(xīng)应(yīng)用领域在手订单0.50亿元。

下(xià)游业务迎来突破性发展，微导纳米积极开拓新兴市(shì)场应用

在半导体(tǐ)领域，微导纳米是国内首家成(chéng)功将量产型(xíng) High-k 原子层沉积(ALD)设备应用于集成电(diàn)路制造前道生产线的国产设备(bèi)厂商。同时，2023年7月，微导纳(nà)米首台半(bàn)导体CVD薄(báo)膜沉积设备顺利发货至客户端(duān)，旨在通过差异化策略开发出市场亟(jí)需的CVD领域高端设备，解决关键 工(gōng)艺的市场(chǎng)空白。

根据SEMI行业统(tǒng)计，ALD约占半导体镀膜板块的11%~13%市场份(fèn)额，未来几年将保持高速增(zēng)长，复合增长率 高达26.3%；CVD约占半(bàn)导体镀膜板块的57%市场份额，未来几年(nián)的(de)复合增长率(lǜ)约为8.9%。

目前，微导纳米已经(jīng)开发工艺(yì)包括HKMG技术、柱状电容器、金(jīn)属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，覆(fù)盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等薄(báo)膜材料。

在光伏领域，2023年11月，微导纳米自主研发的钙钛(tài)矿晶(jīng)硅叠层电池专(zhuān)生活让我懂得用ALD量产设备(bèi)，顺利(lì)发至海(hǎi)外客户。2024年3月，微导纳米成(chéng)功研发出首台适用于大面积百兆瓦钙钛(tài)矿 电池生产的(de)专用量产型(xíng)原子层沉积(ALD)设备，并(bìng)已顺利发货(huò)至业内领军企业。

值得(dé)一提的是，报(bào)告期内，微导纳米新增立项多项新兴产业(yè)应(yīng)用项目，分布于柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能(néng)源等细分应用领(lǐng)域镀膜环节。截(jié)至目前，微导纳米自主研发的柔性电子二代机、应用于车规级芯片ALD设备以及首台光学(xué)领域镀(dù)膜设备已顺利发货(huò)，其(qí)中车规级芯片ALD设(shè)备(bèi)出口海外。2024年1月(yuè)，微导纳米创新研发的ALD量
产设生活让我懂得备(bèi)顺(shùn)利发往欧洲某头部芯片封装客户，实现国产高端设备出口海外。

图：薄膜沉(chén)积技术在部分新兴(xīng)领域的应用场景

微(wēi)导纳米在(zài)财报中表(biǎo)示，公司将继续依托产业(yè)化应用(yòng)中心持续探索尖端薄膜(mó)沉积技术在各新兴应用领域的发展机会，并逐步开展产品应用验证，持续推动新(xīn)兴产业的技术进(jìn)步。

持续加码(mǎ)技术(shù)研发，深挖薄(báo)膜沉积(jī)设备技术护城河(hé)

近年(nián)来，微导纳米以ALD技术生活让我懂得为核心的薄膜沉积(jī)技术领域形成了多(duō)项核心技术和科技成果，并成功将其(qí)应(yīng)用于主营(yíng)业务，实现了科技成果与产业的深度融合。与此同时，微导(dǎo)纳米始终(zhōng)坚持(chí)自主创新、持续 加大(dà)研发投入，持续(xù)探(tàn)索(suǒ)技术边界，积极应对 市场需求的变化，不断拓(tuò)宽并深化在产业前(qián)瞻领域的技术应用，力求实现更广泛的技术创(chuàng)新与产业融(róng)合(hé)。

2023年，微导纳米研发投入3.08亿元，占营业收入比例达18.34%，其中约50%投向(xiàng)半(bàn)导体领域，包(bāo)括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；光伏领域研发(fā)投(tóu)向包(bāo)括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电池等(děng)新一代(dài)高效电(diàn)池技术(shù)等项(xiàng)目。研发(fā)队伍人员不断增加，研发人员达(dá)到429人，同(tóng)比增长78.01%。

得益于(yú)公司(sī)对研发的重视及在研发投入上的不断 加(jiā)码，2023年，微(wēi)导纳米新(xīn)增各类专利申请146项，新增专利授(shòu)权35项，累计授权(quán)专(zhuān)利(lì)达到137项，逐步形成了(le)薄膜沉(chén)积反应(yīng)器设计技术、基于原子层沉积的高(gāo)效电(diàn)池技(jì)术、柔性(xìng)材料制备技术、薄膜(mó)封装技术等十 大(dà)核(hé)心(xīn)技术。

凭借坚持执行ALD+CVD等镀(dù)膜(mó)平台(tái)化战略，微导纳(nà)米正持续在新兴领域进行前沿化开发，为公司未来发展 创造更多收入(rù)增
长极。此外，在技术协同效应进一步显现下，微导(dǎo)纳米通过(guò)跨行业的业务分布，拥有(yǒu)了较强的(de)穿(chuān)越行业周期的能
力，公(gōng)司的抗风险能力得到进一步提升。未(wèi)来，随着其他新兴技术市场的发(fā)展，微导纳米作为平台型的关 键设备供应商的优(yōu)势将进一步显现。（齐(qí)和宁）

校对(duì)：苏焕文

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